目前FFU在較小規(guī)模要求不高的的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，但FFU系統(tǒng)對(duì)于面積在潔凈度要求高的潔凈室則存在運(yùn)行成本過高且占用空間過大等不足。

當(dāng)下低成本高效的FFU系統(tǒng)成為設(shè)計(jì)方案之核心，設(shè)計(jì)高效的FFU系統(tǒng)要求可以滿足集成電路制造中清潔凈作業(yè)室大面積高等級(jí)的基本要求，傳統(tǒng)的FFU系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案普遍存在運(yùn)行成本高，且潔凈室內(nèi)風(fēng)速、風(fēng)量不好調(diào)節(jié)，加之FFU系統(tǒng)升級(jí)改造困難，使之因此操作靈活性很低 不易清潔。

為順應(yīng)市場(chǎng)做到FFU達(dá)潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性高，且在不影響生產(chǎn)作業(yè) 的情況下隨時(shí)進(jìn)行FFU系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，系列方案都能很好地滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的需求，因此在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為潔凈設(shè)計(jì)方案的主流！